ALD-Derived WO 3– x Leads to Nearly Wake-Up-Free Ferroelectric Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 at Elevated Temperatures
본 연구는 산화텅스텐(WO₃₋ₓ) 박막층을 도입하여 Hf₀.₅Zr₀.₅O₂ 강유전체의 고온 안정성을 향상시킵니다. 125°C에서 강유전-반강유전 전이를 억제하고 웨이크업 효과를 10⁵에서 10으로 감소시켜 JEDEC 표준을 만족합니다. DFT 계산 결과 WO₃가 정방정-사방정 상 에너지 간격을 증가시켜 고온에서 사방정 상의 안정성을 향상시킵니다.