Super-resolution approach tailored for wafer transmission electron microscopy images
본 연구는 반도체 제조의 나노 수준 분석에 필수적인 웨이퍼 투과전자현미경(TEM) 이미지의 초해상도 처리를 위해 실용적 열화, 이미지 강화, 초해상도 모델링의 3단계 통합 프레임워크를 제안합니다. 웨이퍼 TEM 특화 노이즈 제거와 명확한 엣지 복원에서 기존 방법을 능가하는 최적 모듈 조합을 발견했습니다.